Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Автор
4. Румянцев, Ю. М.

Статьи. Автор - Румянцев, Ю. М.

• Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
  Шаяпов, В. Р., Чагин, М. Н., Румянцев, Ю. М.
  
  Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме, [Текст] ил., табл. Неорганические материалы, 2016, Т. 52, № 6. - С. 684-690
• Синтез пленок диборида циркония и гетероструктур ZrB[2]/BC[x]N[y]
  Суляева, В. С., Шестаков, В. А., Румянцев, Ю. М., Косинова, М. Л.
  
  Синтез пленок диборида циркония и гетероструктур ZrB[2]/BC[x]N[y], [[Текст]], В. С. Суляева [и др.] 5 рис. // Неорганические материалы .- 2018 .- Т. 54, № 2. - С. 146-152 .-
• Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда
  Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Шаяпов, В. Р., Юшина, И. В., Кичай, В. И., Косинова, М. Л.
  
  Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда, [[Текст]], Румянцев Ю. М. [и др.] ил. // Физика и химия стекла .- 2018 .- Т. 44, № 3. - С. 223-234 .-
• Синтез тонких пленок карбонитрида кремния из гексаметилдисилазана в реакторе с индуктивно-связанной плазмой
  Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Косинова, М. Л., Кузнецов, Ф. А.
  
  ил. // Неорганические материалы .- 2015 .- Т. 51, № 9. - С. 974-980 .-
• Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
  Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Румянцев, Ю. М., Максимовский, Е. А., Шаяпов, В. Р.
  
  Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, [Текст], Ч.1, Химический и фазовый состав ил., табл. Физика и химия стекла, 2014, Т. 40, № 5. - 749-758
• PECVD-синтез наностенок гексагонального нитрида бора из смеси боразина и аммиака
  Меренков, И. С., Косинова, М. Л., Ермакова, Е. Н., Максимовский, Е. А., Румянцев, Ю. М.
  
  PECVD-синтез наностенок гексагонального нитрида бора из смеси боразина и аммиака, [Текст] ил Неорганические материалы, 2015, Т.51, № 11. - С.1183-1189
• Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
  Суляева, В. С., Плеханов, А. Г., Максимовский, Е. А., Файнер, Н. И., Румянцев, Ю. М., Косинова, М. Л.
  
  Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии, [[Текст]], В. С. Суляева [и др.] // Физикохимия поверхности и защита материалов .- 2017 .- Т. 53, № 6. - С. 662-666 .-
• Пленки на основе фаз в системе Si-C-N
  Румянцев, Ю. М., Юшина, И. В., Косинова, М. Л.
  
  Пленки на основе фаз в системе Si-C-N, Плазмохимический синтез пленок SiCxNy : H из смеси бис(триметилсилил)этиламина и водорода, Ч. II, [[Текст]], Румянцев Ю. М., Юшина И. В., Косинова М. Л. ил. // Физика и химия стекла .- 2017 .- Т. 43, № 1. - С. 69-75 .-
• Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
  Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Румянцев, Ю. М., Юшина, И. В., Шаяпов, В. Р., Кичай, В. Н.
  
  Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, [Текст], Ч.II, Физико-химические свойства ил. Физика и химия стекла, 2014, Т. 40, № 6. - С. 837-845
• Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена
  Пушкарев, Р. В., Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Надолинный, В. А., Максимовский, Е. А., Коротаев, Е. В., Каичев, В. В.
  
  Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена, [Текст], Ч.II, Свойства пленок SiC[x]N[y]Fe[z], полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена ил. Физика и химия стекла, 2016, Т. 42, № 5. - С. 649-657
• Плазмохимический синтез тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из газовой смеси метилтрис(диэтиламино)силана, азота и кислорода
  Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Максимовский, Е. А., Румянцев, Ю. М.
  
  Плазмохимический синтез тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из газовой смеси метилтрис(диэтиламино)силана, азота и кислорода, [[Текст]], Н. И. Файнер [и др.] ил. // Физика и химия стекла .- 2019 .- Т. 45, № 5. - С. 412-424 .-
• Летучие разнолигандные комплексы меди(II): новые прекурсоры для химического осаждения медных пленок из газовой фазы
  Крисюк, В. В., Тургамбаева, А. Е., Стабников, П. А., Игуменов, И. К., Сысоев, С. В., Румянцев, Ю. М., Прохорова, С. А., Максимовский, Е. А., Маслова, О. В.
  
  Летучие разнолигандные комплексы меди(II): новые прекурсоры для химического осаждения медных пленок из газовой фазы, [[Текст]], В. В. Крисюк [и др.] // Журнал прикладной химии .- 2018 .- Т. 91, вып. 7. - С. 925-932 .-
• Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана
  Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Кеслер, В. Г., Максимовский, Е. А., Аюпов, Б. М., Кузнецов, Ф. А.
  
  Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана, [Текст] ил. Физика и химия стекла, 2013, Т. 39, № 1. - С. 114-129
• Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния
  Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Кеслер, В. Г., Аюпов, Б. М., Рахлин, В. И., Воронков, М. Г.
  
  Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния, [Текст] ил. Физика и химия стекла, 2012, Т. 38, № 1. - С. 22-38
• Влияние условий синтеза нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния на их состав и механические свойства
  Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Хомяков, М. Н., Максимовский, Е. А., Румянцев, Ю. М.
  
  Влияние условий синтеза нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния на их состав и механические свойства, [[Текст]], Н. И. Файнер [и др.] // Физикохимия поверхности и защита материалов .- 2017 .- Т. 53, № 2. - С. 166-173 .-