Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
Поиск

Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния

Авторы: Файнер, Н. И. Плеханов, А. Г. Румянцев, Ю. М. Юшина, И. В. Шаяпов, В. Р. Кичай, В. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
Текст
Ч.II
Физико-химические свойства
Физика и химия стекла
2014
Т. 40, № 6. - С. 837-845