| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/477049764 |
| Дата корректировки | 22:10:47 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793 |
| Файнер, Н. И. | |
|
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния Текст Ч.II Физико-химические свойства |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
|
тонкие пленки гидрогенизированный оксикарбонитрид кремния оптические свойства диэлектрическая постоянная |
|
|
Плеханов, А. Г. Румянцев, Ю. М. Юшина, И. В. Шаяпов, В. Р. Кичай, В. Н. |
|
|
Физика и химия стекла 2014 Т. 40, № 6. - С. 837-845 |
|
| Тип документа | b |
