-
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Асанов, И. П.
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии, Файнер Н. И., Плеханов А. Г., Асанов И. П., [Текст]
ил.
2017, Т. 43, № 5. - С. 459-467, Физика и химия стекла, 0132-6651
-
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Асанов, И. П.
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии, [[Текст]], Файнер Н. И., Плеханов А. Г., Асанов И. П.
ил.
// Физика и химия стекла .-
2017 .-
Т. 43, № 5. - С. 459-467 .-
-
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Румянцев, Ю. М., Максимовский, Е. А., Шаяпов, В. Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, [Текст], Ч.1, Химический и фазовый состав
ил., табл.
Физика и химия стекла, 2014, Т. 40, № 5. - 749-758
-
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Суляева, В. С., Плеханов, А. Г., Максимовский, Е. А., Файнер, Н. И., Румянцев, Ю. М., Косинова, М. Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии, [[Текст]], В. С. Суляева [и др.]
// Физикохимия поверхности и защита материалов .-
2017 .-
Т. 53, № 6. - С. 662-666 .-
-
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Румянцев, Ю. М., Юшина, И. В., Шаяпов, В. Р., Кичай, В. Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, [Текст], Ч.II, Физико-химические свойства
ил.
Физика и химия стекла, 2014, Т. 40, № 6. - С. 837-845
-
Плазмохимический синтез тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из газовой смеси метилтрис(диэтиламино)силана, азота и кислорода
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Максимовский, Е. А., Румянцев, Ю. М.
Плазмохимический синтез тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из газовой смеси метилтрис(диэтиламино)силана, азота и кислорода, [[Текст]], Н. И. Файнер [и др.]
ил.
// Физика и химия стекла .-
2019 .-
Т. 45, № 5. - С. 412-424 .-
-
Влияние условий синтеза нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния на их состав и механические свойства
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Хомяков, М. Н., Максимовский, Е. А., Румянцев, Ю. М.
Влияние условий синтеза нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния на их состав и механические свойства, [[Текст]], Н. И. Файнер [и др.]
// Физикохимия поверхности и защита материалов .-
2017 .-
Т. 53, № 2. - С. 166-173 .-
-
Получение высокопрозрачных пленок SiC[x]N[y]O[z]:H плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана, кислорода и азота
Плеханов, А. Г., Файнер, Н. И., Максимовский, Е. А., Шаяпов, В. Р., Юшина, И. В., Хомяков, М. Н.
Получение высокопрозрачных пленок SiC[x]N[y]O[z]:H плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана, кислорода и азота, А. Г. Плеханов, Н. И. Файнер, Е. А. Максимовский [и др.]
// Журнал общей химии .-
2019 .-
Т. 89, № 11. - С. 1786-1791 .-
