Поиск

Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии

Авторы: Файнер, Н. И. Плеханов, А. Г. Асанов, И. П.
Подробная информация
Индекс УДК 666.651
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии
Файнер Н. И., Плеханов А. Г., Асанов И. П.
Текст
2017
Т. 43, № 5. - С. 459-467
Физика и химия стекла
0132-6651