| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/570801318 |
| Дата корректировки | 13:33:11 16 июля 2019 г. |
| Кодируемые данные | 180201s2017||||ru |||||||||||000|||rus#d |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 666.651 |
| Индекс ББК | 35.43 |
|
070 z01710 Файнер, Н. И. |
|
|
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии Файнер Н. И., Плеханов А. Г., Асанов И. П. Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 467 (27 назв.) |
| Аннотация | Проведено изучение элементного состава и химических связей нанокомпозитных пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, полученных высокочастотным плазмохимическим осаждением из исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана с азотом и кислородом в температурной области 373-973 К, в зависимости от условий синтеза. Изучено влияние изменения температуры синтеза и химического состава исходных газовых смесей на элементный состав и типы химических связей пленок SiC[x]N[y]O[z]:H. |
|
Химическая технология Стекло и стеклоизделия |
|
|
гидрогенизированный оксикарбонитрид кремния плазмохимический синтез тетраметилдисилазан плазмохимическое осаждение рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия инфракрасная спектроскопия карбонитрид кремния высокотемпературные пленки синтез плазмохимический оксикарбонитрид кремния |
|
|
070 z02710 Плеханов, А. Г. 070 z03710 Асанов, И. П. |
|
|
z01100 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z02700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет Вторичная ответственность |
|
|
2017 Т. 43, № 5. - С. 459-467 Физика и химия стекла 0132-6651 |
|
| Тип документа | b |
