| Индекс УДК | 547 |
|
Влияние условий синтеза нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния на их состав и механические свойства [Текст] Н. И. Файнер [и др.] |
|
| Аннотация | Диэлектрические пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния SiC[x]N[y]O[z] : H получены с помощью плазмохимического осаждения из газовых смесей 1, 1, 1, 3, 3, 3-гексаметилдисилазана (ГМДС) или 1, 1, 3, 3-тетраметилдисилазана (ТМДС) с кислородом и азотом в температурном интервале 373–973 K. Метод наноиндентирования использован для измерения твердости и модуля Юнга. Изучено влияние температуры синтеза и соотношения азота к кислороду в исходных газовых смесях ГМДС + O[2] + [x]N2 и ТМДС + O[2] + [x]N[2] на величину твердости и модуля Юнга полученных пленок SiC[x]N[y]O[z] : H. Максимальные полученные значения этих величин составили 20. 4 и 201. 5 ГПа, соответственно. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 2. - С. 166-173 |
