| Индекс УДК | 666.651 |
|
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии [Текст] Файнер Н. И., Плеханов А. Г., Асанов И. П. |
|
| Аннотация | Проведено изучение элементного состава и химических связей нанокомпозитных пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, полученных высокочастотным плазмохимическим осаждением из исходных газовых смесей 1, 1, 3, 3-тетраметилдисилазана с азотом и кислородом в температурной области 373-973 К, в зависимости от условий синтеза. Изучено влияние изменения температуры синтеза и химического состава исходных газовых смесей на элементный состав и типы химических связей пленок SiC[x]N[y]O[z]: H. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 5. - С. 459-467 |
