| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | phcs17_to43_no5_ss459_ad1 |
| Дата корректировки | 14:52:06 31 июля 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190716s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-phcs17_to43_no5_ss459_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 666.651 |
| Индекс ББК | 35.43 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Файнер, Н. И. z01710 070 |
|
|
Изучение химических связей и элементного состава пленок оксикарбонитрида кремния методами РФЭ-, ИК- и рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии [Текст] Файнер Н. И., Плеханов А. Г., Асанов И. П. |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 467 (27 назв. ) |
| Аннотация | Проведено изучение элементного состава и химических связей нанокомпозитных пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, полученных высокочастотным плазмохимическим осаждением из исходных газовых смесей 1, 1, 3, 3-тетраметилдисилазана с азотом и кислородом в температурной области 373-973 К, в зависимости от условий синтеза. Изучено влияние изменения температуры синтеза и химического состава исходных газовых смесей на элементный состав и типы химических связей пленок SiC[x]N[y]O[z]: H. |
|
Химическая технология AR-MARS Стекло и стеклоизделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
гидрогенизированный оксикарбонитрид кремния плазмохимический синтез тетраметилдисилазан плазмохимическое осаждение рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия инфракрасная спектроскопия карбонитрид кремния высокотемпературные пленки синтез плазмохимический оксикарбонитрид кремния |
|
Плеханов, А. Г. 070 z02710 Асанов, И. П. 070 z03710 |
|
|
z01100 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z02700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0132-6651 |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 5. - С. 459-467 |
|
RU 22013539 20190716 RCR |
|
|
RU 22013539 20190716 |
|
|
RU AR-MARS 20190716 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20190716 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
phcs 2017 43 5 459 1 |
|
| 14889 |
