| Индекс УДК | 661.68 |
|
Плазмохимический синтез тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из газовой смеси метилтрис(диэтиламино)силана, азота и кислорода [Текст] Н. И. Файнер [и др.] |
|
| Аннотация | Проведено изучение процесса осаждения тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния в плазме ВЧ-разряда с использованием нового кремнийорганического соединения метилтрис (диэтиламино) силана (МТДЭАС) в смесях с кислородом и азотом. В результате термодинамического моделирования системы Si-C-N-H-O в температурном диапазоне 300-1300 К получены CVD диаграммы, позволяющие оптимизировать процесс синтеза таких пленочных материалов, как SiC[x]N[y]O[z]: H. Экспериментально пленки оксикарбонитрида кремния различного состава получены в интервале температур осаждения 373-973 K при разных составах исходной газовой смеси МТДЭАС + O[2] + xN[2]. Изменение химического состава газовых смесей приводит к получению пленок SiC[x]N[y]O[z]: H с большим интервалом изменения функциональных свойств, показатель преломления варьируется в диапазоне 1. 5 до 2. 21; регулируемая прозрачность 92-99. 7% в УФ, видимой и ИК-областях спектра; "перестраиваемые" характеристики ширины запрещенной зоны 2. 5-4. 5 эВ и 2. 9-0. 7 эВ для пленок, выращенных из смесей МТДЭАС + O[2] + N[2] и МТДЭАС + O[2] + 2N[2] соответственно. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 45, № 5. - С. 412-424 |
