| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | phcs19_to45_no5_ss412_ad1 |
| Дата корректировки | 14:52:43 30 сентября 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190926s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-phcs19_to45_no5_ss412_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 661.68 |
| Индекс ББК | 35.20 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Файнер, Н. И. 070 z01710 |
|
|
Плазмохимический синтез тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из газовой смеси метилтрис(диэтиламино)силана, азота и кислорода [Текст] Н. И. Файнер [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: с. 423-424 (25 назв. ) |
| Аннотация | Проведено изучение процесса осаждения тонких пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния в плазме ВЧ-разряда с использованием нового кремнийорганического соединения метилтрис (диэтиламино) силана (МТДЭАС) в смесях с кислородом и азотом. В результате термодинамического моделирования системы Si-C-N-H-O в температурном диапазоне 300-1300 К получены CVD диаграммы, позволяющие оптимизировать процесс синтеза таких пленочных материалов, как SiC[x]N[y]O[z]: H. Экспериментально пленки оксикарбонитрида кремния различного состава получены в интервале температур осаждения 373-973 K при разных составах исходной газовой смеси МТДЭАС + O[2] + xN[2]. Изменение химического состава газовых смесей приводит к получению пленок SiC[x]N[y]O[z]: H с большим интервалом изменения функциональных свойств, показатель преломления варьируется в диапазоне 1. 5 до 2. 21; регулируемая прозрачность 92-99. 7% в УФ, видимой и ИК-областях спектра; "перестраиваемые" характеристики ширины запрещенной зоны 2. 5-4. 5 эВ и 2. 9-0. 7 эВ для пленок, выращенных из смесей МТДЭАС + O[2] + N[2] и МТДЭАС + O[2] + 2N[2] соответственно. |
|
Химическая технология AR-MARS Технология неорганических веществ AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
плазмохимический синтез гидрогенизированный оксикарбонитрид кремния оксикарбонитрид кремния гидрогенизированный кремнийорганические соединения метилтрис (диэтиламино) силаны кислород азот пленочные материалы термодинамическое моделирование оптическое пропускание химическое осаждение термодинамический анализ ИК-спектроскопия инфракрасная спектроскопия растровая электронная микроскопия |
|
Плеханов, А. Г. 070 z02710 Максимовский, Е. А. 070 z03710 Румянцев, Ю. М. 070 z04710 |
|
|
z01700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения РАН Новосибирск Вторичная ответственность z02700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения РАН Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения РАН Новосибирск Вторичная ответственность z04700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения РАН Новосибирск Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0132-6651 |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 45, № 5. - С. 412-424 |
|
RU 22013539 20190926 RCR |
|
|
RU 22013539 20190926 |
|
|
RU AR-MARS 20190926 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20190926 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
phcs 2019 45 5 412 1 |
|
| 14889 |
