| Индекс УДК | 547 |
|
Получение высокопрозрачных пленок SiC[x]N[y]O[z]:H плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана, кислорода и азота А. Г. Плеханов, Н. И. Файнер, Е. А. Максимовский [и др.] |
|
| Аннотация | Получены высокопрозрачные пленки оксикарбонитрида кремния. |
| Название источника | Журнал общей химии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 89, № 11. - С. 1786-1791 |
