| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zoch19_to89_no11_ss1786_ad1 |
| Дата корректировки | 8:11:39 3 февраля 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200114s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zoch19_to89_no11_ss1786_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Петрозаводского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 547 |
| Индекс ББК | 24.23 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Плеханов, А. Г. Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения РАН 070 |
|
|
Получение высокопрозрачных пленок SiC[x]N[y]O[z]:H плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана, кислорода и азота А. Г. Плеханов, Н. И. Файнер, Е. А. Максимовский [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр. в конце статьи |
| Аннотация | Получены высокопрозрачные пленки оксикарбонитрида кремния. |
|
Химия AR-MARS Органические соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния гексаметилциклотрисилазан плазмохимическое осаждение твердость Юнга Юнга твердость модуль Юнга Юнга модуль оксикарбонитрид кремния синтез пленок |
|
Файнер, Н. И. Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения РАН 070 Максимовский, Е. А. Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения РАН 070 Шаяпов, В. Р. Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения РАН 070 Юшина, И. В. Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения РАН 070 Хомяков, М. Н. Институт лазерной физики Сибирского отделения РАН 070 |
|
| ISSN | 0044-460X |
| Название источника | Журнал общей химии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 89, № 11. - С. 1786-1791 |
|
RU 18513093 20200114 RCR |
|
|
RU 18513093 20200114 |
|
|
RU AR-MARS 20200123 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20200123 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zoch 2019 89 11 1786 1 |
|
| 12804 |
