| Индекс УДК | 669.017 |
|
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии [Текст] В. С. Суляева [и др.] |
|
| Аннотация | Представлены результаты количественного определения элементного состава пленок состоящих из легких элементов методами волнодисперсионной и энергодисперсионной спектроскопии. Пленки предварительно были исследованы методами ИК-спектроскопии, эллипсометрии, сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной спектроскопии, с целью получения данных об их элементном составе, типах химических связей, толщине, морфологии поверхности. Подобраны стандарты для каждого элемента и экспериментально установлены параметры проведения анализа на электронном микроскопе, такие как ускоряющее напряжение и сила тока. Показано преимущество использования метода ВДС для изучения состава пленок карбонитридов бора и кремния. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 6. - С. 662-666 |
