| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zamt17_to53_no6_ss662_ad1 |
| Дата корректировки | 10:41:19 29 декабря 2017 г. |
| Кодируемые данные | 171222s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zamt17_to53_no6_ss662_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Брянского государственного технического университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 669.017 |
| Индекс ББК | 34.2 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Суляева, В. С. 070 |
|
|
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии [Текст] В. С. Суляева [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр.: с. 666 (15 назв. ) |
| Аннотация | Представлены результаты количественного определения элементного состава пленок состоящих из легких элементов методами волнодисперсионной и энергодисперсионной спектроскопии. Пленки предварительно были исследованы методами ИК-спектроскопии, эллипсометрии, сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной спектроскопии, с целью получения данных об их элементном составе, типах химических связей, толщине, морфологии поверхности. Подобраны стандарты для каждого элемента и экспериментально установлены параметры проведения анализа на электронном микроскопе, такие как ускоряющее напряжение и сила тока. Показано преимущество использования метода ВДС для изучения состава пленок карбонитридов бора и кремния. |
|
Технология металлов AR-MARS Металловедение в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
волнодисперсионная спектроскопия энергодисперсионная спектроскопия карбонитриды бора карбонитриды кремния тонкие пленки элементный состав |
|
Плеханов, А. Г. 070 Максимовский, Е. А. 070 Файнер, Н. И. 070 Румянцев, Ю. М. 070 Косинова, М. Л. 070 |
|
| ISSN | 0044-1856 |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 6. - С. 662-666 |
|
RU 24113514 20171222 RCR |
|
|
RU 24113514 20171222 |
|
|
RU AR-MARS 20171222 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20171222 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zamt 2017 53 6 662 1 |
|
| 340 | |
| Методы изучения физико-химических систем |
