-
Синтез пленок диборида циркония и гетероструктур ZrB[2]/BC[x]N[y]
Суляева, В. С., Шестаков, В. А., Румянцев, Ю. М., Косинова, М. Л.
Синтез пленок диборида циркония и гетероструктур ZrB[2]/BC[x]N[y], [[Текст]], В. С. Суляева [и др.]
5 рис.
// Неорганические материалы .-
2018 .-
Т. 54, № 2. - С. 146-152 .-
-
Термодинамический анализ поведения триметилбората как прекурсора при осаждении из газовой фазы борсодержащих пленок
Косяков, В. И., Шестаков, В. А., Косинова, М. Л.
Термодинамический анализ поведения триметилбората как прекурсора при осаждении из газовой фазы борсодержащих пленок, [[Текст]], В. И. Косяков, В. А. Шестаков, М. Л. Косинова
рис.
// Журнал неорганической химии .-
2018 .-
Т. 63, № 6. - С. 777-780 .-
-
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда
Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Шаяпов, В. Р., Юшина, И. В., Кичай, В. И., Косинова, М. Л.
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда, [[Текст]], Румянцев Ю. М. [и др.]
ил.
// Физика и химия стекла .-
2018 .-
Т. 44, № 3. - С. 223-234 .-
-
Синтез тонких пленок карбонитрида кремния из гексаметилдисилазана в реакторе с индуктивно-связанной плазмой
Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Косинова, М. Л., Кузнецов, Ф. А.
ил.
// Неорганические материалы .-
2015 .-
Т. 51, № 9. - С. 974-980 .-
-
Аллиламино)силаны: синтез, свойства и перспективы использования при получении новых материалов
Сысоев, С. В., Мареев, А. В., Цырендоржиева, И. П., Максимовский, Е. А., Исаков, А. В., Маслова, О. В., Косинова, М. Л.
К 90-летию со дня рождения А. В. Суворова .-
// Журнал общей химии .-
2021 .-
Т. 91, № 10. - С. 1511-1518 .-
-
Термодинамический анализ процессов получения пленок SiBCN с использованием газовой смеси триметиламинборана и тетраметилдисилазана
Шестаков, В. А., Косинова, М. Л.
Термодинамический анализ процессов получения пленок SiBCN с использованием газовой смеси триметиламинборана и тетраметилдисилазана, В. А. Шестаков, М. Л. Косинова
рис.
// Журнал неорганической химии .-
2021 .-
Т. 66, № 11. - С. 1585-1592 .-
-
Обобщенная CVD-диаграмма системы Si-C-N-H-Нe(Ar)
Шестаков, В. А., Косяков, В. И., Косинова, М. Л.
Обобщенная CVD-диаграмма системы Si-C-N-H-Нe(Ar), В. А. Шестаков, В. И. Косяков, М. Л. Косинова
рис.
// Журнал неорганической химии .-
2020 .-
Т. 65, № 6. - С. 829-836 .-
-
PECVD-синтез наностенок гексагонального нитрида бора из смеси боразина и аммиака
Меренков, И. С., Косинова, М. Л., Ермакова, Е. Н., Максимовский, Е. А., Румянцев, Ю. М.
PECVD-синтез наностенок гексагонального нитрида бора из смеси боразина и аммиака, [Текст]
ил
Неорганические материалы, 2015, Т.51, № 11. - С.1183-1189
-
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Суляева, В. С., Плеханов, А. Г., Максимовский, Е. А., Файнер, Н. И., Румянцев, Ю. М., Косинова, М. Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии, [[Текст]], В. С. Суляева [и др.]
// Физикохимия поверхности и защита материалов .-
2017 .-
Т. 53, № 6. - С. 662-666 .-
-
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N
Румянцев, Ю. М., Юшина, И. В., Косинова, М. Л.
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N, Плазмохимический синтез пленок SiCxNy : H из смеси бис(триметилсилил)этиламина и водорода, Ч. II, [[Текст]], Румянцев Ю. М., Юшина И. В., Косинова М. Л.
ил.
// Физика и химия стекла .-
2017 .-
Т. 43, № 1. - С. 69-75 .-
-
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N
Сысоев, С. В., Колонтаева, А. О., Никулина, Л. Д., Косинова, М. Л., Кузнецов, Ф. А., Рахлин, В. И., Лис, А. В., Воронков, М. Г.
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N, [Текст], Ч.1, Синтез и характеризация предшественника - бис(триметилсилил)этиламина
ил.
Физика и химия стекла, 2012, Т. 38, № 1. - С. 14-21
