| Индекс УДК | 544.3 |
|
Термодинамический анализ поведения триметилбората как прекурсора при осаждении из газовой фазы борсодержащих пленок [Текст] В. И. Косяков, В. А. Шестаков, М. Л. Косинова |
|
| Аннотация | Проведено термодинамическое моделирование процесса химического осаждения борсодержащих пленок из газовой фазы с использованием в качестве предшественника триметилбората. |
| Название источника | Журнал неорганической химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 63, № 6. - С. 777-780 |
