| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zneo18_to63_no6_ss777_ad1 |
| Дата корректировки | 15:43:47 30 июля 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180713s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zneo18_to63_no6_ss777_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Вятского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.3 |
| Индекс ББК | 24.531 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Косяков, В. И. z01710 070 |
|
|
Термодинамический анализ поведения триметилбората как прекурсора при осаждении из газовой фазы борсодержащих пленок [Текст] В. И. Косяков, В. А. Шестаков, М. Л. Косинова |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 780 (10 назв.) |
| Аннотация | Проведено термодинамическое моделирование процесса химического осаждения борсодержащих пленок из газовой фазы с использованием в качестве предшественника триметилбората. |
|
Химия AR-MARS Химическая термодинамика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
триметилборат борсодержащие пленки термодинамическое моделирование химическое осаждение газовые фазы |
|
Шестаков, В. А. 070 z02710 Косинова, М. Л. 070 z03710 |
|
|
Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z01100 Новосибирск Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z02700 Новосибирск Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z03700 Новосибирск Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-457X |
| Название источника | Журнал неорганической химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 63, № 6. - С. 777-780 |
|
RU 61013501 20180713 RCR |
|
|
RU 61013501 20180713 |
|
|
RU AR-MARS 20180716 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180716 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zneo 2018 63 6 777 1 |
|
| 12802 | |
| Физико-химический анализ неорганических систем |
