| Индекс УДК | 661.687 |
|
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N Плазмохимический синтез пленок SiCxNy : H из смеси бис(триметилсилил)этиламина и водорода Ч. II [Текст] Румянцев Ю. М., Юшина И. В., Косинова М. Л. |
|
| Аннотация | Тонкие пленки карбамида кремния синтезированы методом плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы с использованием в качестве исходного соединения кремнийорганического вещества - бис (триметилсилил) этиламина в смеси с водородом. Химический состав и свойства пленок охарактеризованы комплексом современных методов исследования: ИК, КР и энергодисперсионная спектроскопии, эллипсометрия, сканирующая электронная микроскопия, спектрофотометрия. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 1. - С. 69-75 |
