| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | phcs17_to43_no1_ss69_ad1 |
| Дата корректировки | 9:58:43 1 июня 2017 г. |
| Кодируемые данные | 170510s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-phcs17_to43_no1_ss69_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 661.687 |
| Индекс ББК | 35.20 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Румянцев, Ю. М. z01710 070 |
|
|
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N Плазмохимический синтез пленок SiCxNy : H из смеси бис(триметилсилил)этиламина и водорода Ч. II [Текст] Румянцев Ю. М., Юшина И. В., Косинова М. Л. |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: с. 75 (15 назв. ) |
| Аннотация | Тонкие пленки карбамида кремния синтезированы методом плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы с использованием в качестве исходного соединения кремнийорганического вещества - бис (триметилсилил) этиламина в смеси с водородом. Химический состав и свойства пленок охарактеризованы комплексом современных методов исследования: ИК, КР и энергодисперсионная спектроскопии, эллипсометрия, сканирующая электронная микроскопия, спектрофотометрия. |
|
Химическая технология AR-MARS Технология неорганических веществ AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
карбонитрид кремния нанокомпозитные пленки пленки нанокомпозитные химическое осаждение кремнийорганические соединения плазмохимические процессы сканирующая электронная микроскопия соединения кремнийорганические спектрофотометрия эллипсометрия энергодисперсионная спектроскопия ИК-спектроскопия инфракрасная спектроскопия КР-спектроскопия Рамановская спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния водород бис (триметилсилил) этиламин |
|
Юшина, И. В. 070 z02710 Косинова, М. Л. 070 z03710 |
|
|
z01100 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z02700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0132-6651 |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 1. - С. 69-75 |
|
RU 22013539 20170510 RCR |
|
|
RU 22013539 20170510 |
|
|
RU AR-MARS 20170510 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20170510 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
phcs 2017 43 1 69 1 |
|
| 14889 |
