| Индекс УДК |
546 539.2 66 |
|
Синтез пленок диборида циркония и гетероструктур ZrB[2]/BC[x]N[y] [Текст] В. С. Суляева [и др.] |
|
| Аннотация | Механохимическим методом синтезирован тетрагидроборат циркония Zr (BH[4]) [4] - предшественник для процесса химического осаждения из газовой фазы пленок ZrB[2]. Проведено термодинамическое моделирование процессов фазообразования в системах Zr-B- (N) -H и Zr-B- (N) -H-O в широком температурном интервале 100-2500 °C и при различных соотношениях парциальных давлений в исходных газовых смесях p[H[2]]/p[Zr (BH[4]) [4]] и p[NH[3]]/p[Zr (BH[4]) [4]]. Разработан процесс синтеза пленок диборида циркония разложением Zr (BH[4]) [4] двумя методами: химического и плазмостимулированного осаждения из газовой фазы, а также методика синтеза многослойных структур на основе ZrB[2] и BC[x]N[y]. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 54, № 2. - С. 146-152 |
