| Индекс УДК | 547.1`128 |
|
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда [Текст] Румянцев Ю. М. [и др.] |
|
| Аннотация | Синтез тонких пленок гидрогенизированного карбида SiC{x}: H и карбонитрида SiC{x}N{y}: H кремния осуществлялся в реакторе с индуктивно-связанной плазмой ВЧ разряда с использованием паров тетраметилсилана и дополнительных газов аргона и/или азота. Процесс проводился при различных температурах, мощностях плазмы и парциальном давлении тетраметилсилана и дополнительных газов в реакторе. Получены зависимости скорости роста, химического состава пленок, а также некоторых их свойств - коэффициента пропускания света, показателя преломления, оптической ширины запрещенной зоны, коэффициента диэлектрической проницаемости - от условий синтеза. Характерной особенностью исследуемого процесса является слабая зависимость состава и свойств пленок от задаваемых условий синтеза в изученном диапазоне изменения параметров. Рассмотрены возможные причины этого явления и результаты проведенного исследования in situ состава газовой фазы в плазме. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 44, № 3. - С. 223-234 |
