| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | phcs18_to44_no3_ss223_ad1 |
| Дата корректировки | 11:19:00 31 августа 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180810s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-phcs18_to44_no3_ss223_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 547.1`128 |
| Индекс ББК | 24.23 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Румянцев, Ю. М. 070 z01710 |
|
|
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда [Текст] Румянцев Ю. М. [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: с. 233-234 (37 назв. ) |
| Аннотация | Синтез тонких пленок гидрогенизированного карбида SiC{x}: H и карбонитрида SiC{x}N{y}: H кремния осуществлялся в реакторе с индуктивно-связанной плазмой ВЧ разряда с использованием паров тетраметилсилана и дополнительных газов аргона и/или азота. Процесс проводился при различных температурах, мощностях плазмы и парциальном давлении тетраметилсилана и дополнительных газов в реакторе. Получены зависимости скорости роста, химического состава пленок, а также некоторых их свойств - коэффициента пропускания света, показателя преломления, оптической ширины запрещенной зоны, коэффициента диэлектрической проницаемости - от условий синтеза. Характерной особенностью исследуемого процесса является слабая зависимость состава и свойств пленок от задаваемых условий синтеза в изученном диапазоне изменения параметров. Рассмотрены возможные причины этого явления и результаты проведенного исследования in situ состава газовой фазы в плазме. |
|
Химия AR-MARS Органические соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
индуктивно-связанная плазма тетраметилсилан гидрогенизированный карбид карбид гидрогенизированный карбонитрид кремния аргон коэффициент пропускания света показатель преломления оптическая ширина запрещенной зоны коэффициент диэлектрической проницаемости кремнийорганические соединения оптическая эмиссионная спектроскопия плазмохимическое разложение |
|
Чагин, М. Н. 070 z02710 Шаяпов, В. Р. 070 z03710 Юшина, И. В. 070 z04710 Кичай, В. И. 070 z05710 Косинова, М. Л. 070 z06710 |
|
|
z01700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z02700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z03700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z04700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z05700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность z06700 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук Новосибирск Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0132-6651 |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 44, № 3. - С. 223-234 |
|
RU 22013539 20180810 RCR |
|
|
RU 22013539 20180810 |
|
|
RU AR-MARS 20180810 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180810 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
phcs 2018 44 3 223 1 |
|
| 14889 |
