Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда
Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Шаяпов, В. Р., Юшина, И. В., Кичай, В. И., Косинова, М. Л.
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда, [[Текст]], Румянцев Ю. М. [и др.]
ил.
// Физика и химия стекла .-
2018 .-
Т. 44, № 3. - С. 223-234 .-
