| Индекс УДК |
544.3 543.4/.5 |
|
Термодинамический анализ процессов получения пленок SiBCN с использованием газовой смеси триметиламинборана и тетраметилдисилазана В. А. Шестаков, М. Л. Косинова |
|
| Аннотация | Проведено термодинамическое моделирование процесса химического осаждения из газовой фазы пленок сложного состава в системе Si–B–N–C–H при пониженном давлении (0. 01 Торр) в широком интервале температур (от 400 до 1200 K) с использованием летучих элементоорганических соединений – тетраметилдисилазана [HSiMe[2]][2]NH и триметиламинборана Me3N · BH3 – в качестве исходных веществ. |
| Название источника | Журнал неорганической химии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 66, № 11. - С. 1585-1592 |
