| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zneo21_to66_no11_ss1585_ad1 |
| Дата корректировки | 12:23:17 29 ноября 2021 г. |
| Кодируемые данные | 211112s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zneo21_to66_no11_ss1585_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Вятского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
544.3 543.4/.5 |
| Индекс ББК |
24.531 24.46/48 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Шестаков, В. А. Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН 070 |
|
|
Термодинамический анализ процессов получения пленок SiBCN с использованием газовой смеси триметиламинборана и тетраметилдисилазана В. А. Шестаков, М. Л. Косинова |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | рис. |
| Текст | |
| электронный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 1591-1592 (25 назв.) |
| Аннотация | Проведено термодинамическое моделирование процесса химического осаждения из газовой фазы пленок сложного состава в системе Si–B–N–C–H при пониженном давлении (0. 01 Торр) в широком интервале температур (от 400 до 1200 K) с использованием летучих элементоорганических соединений – тетраметилдисилазана [HSiMe[2]][2]NH и триметиламинборана Me3N · BH3 – в качестве исходных веществ. |
|
Химия AR-MARS Химическая термодинамика AR-MARS Физико-химические методы анализа AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
триметилборан тетраметилдисилазан термодинамическое моделирование химическое осаждение газовая фаза |
|
Косинова, М. Л. Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН 070 |
|
| ISSN | 0044-457X |
| Название источника | Журнал неорганической химии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 66, № 11. - С. 1585-1592 |
|
RU 61013501 20211112 RCR |
|
|
RU 61013501 20211112 |
|
|
RU AR-MARS 20211116 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20211116 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zneo 2021 66 11 1585 1 |
|
| 12802 | |
| Теоретическая неорганическая химия | |
| электронный ресурс удаленного доступа | |
| ua | |
