| Индекс УДК |
544 543.4/.5 544.22 544.3 |
|
Обобщенная CVD-диаграмма системы Si-C-N-H-Нe(Ar) В. А. Шестаков, В. И. Косяков, М. Л. Косинова |
|
| Аннотация | Пленки карбонитрида кремния (SiC[x]N[y]) благодаря своим свойствам имеют широкие возможности практического применения. Рассмотрено получение таких пленок методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) с использованием кремнийорганических соединений в качестве исходных веществ. |
| Название источника | Журнал неорганической химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 65, № 6. - С. 829-836 |
