| Индекс УДК | 539.23+661.687 |
| Автор | Румянцев, Ю. М. |
| Заглавие | Синтез тонких пленок карбонитрида кремния из гексаметилдисилазана в реакторе с индуктивно-связанной плазмой |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | синтез тонких пленок |
| Другие авторы | Чагин, М. Н. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2015 |
| Прочая информация | Т. 51, № 9. - С. 974-980 |
