| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/498649002 |
| Дата корректировки | 9:36:42 20 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.23+661.687 |
| Автор | Румянцев, Ю. М. |
| Заглавие | Синтез тонких пленок карбонитрида кремния из гексаметилдисилазана в реакторе с индуктивно-связанной плазмой |
| Физич. носитель | Текст |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
| Ключевые слова | синтез тонких пленок |
|
карбонитрид кремния гексаметилдисилазан плазмохимическое осаждение |
|
| Другие авторы | Чагин, М. Н. |
|
Косинова, М. Л. Кузнецов, Ф. А. Косинова, М. Л. Кузнецов, Ф. А. |
|
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2015 |
| Прочая информация | Т. 51, № 9. - С. 974-980 |
| Тип документа | b |
