-
Синтез тонких пленок карбонитрида кремния из гексаметилдисилазана в реакторе с индуктивно-связанной плазмой
Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Косинова, М. Л., Кузнецов, Ф. А.
ил.
// Неорганические материалы .-
2015 .-
Т. 51, № 9. - С. 974-980 .-
-
Упругие и фотоупругие свойства монокристаллов KY(WO[4])[2]
Мазур, М. М., Кузнецов, Ф. А., Мазур. Л. И., Павлюк, А. А., Пустовойт, В. И.
Упругие и фотоупругие свойства монокристаллов KY(WO[4])[2], [Текст]
ил., табл.
Неорганические материалы, 2012, Т. 48, № 1. - С. 74-80
-
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана
Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Кеслер, В. Г., Максимовский, Е. А., Аюпов, Б. М., Кузнецов, Ф. А.
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана, [Текст]
ил.
Физика и химия стекла, 2013, Т. 39, № 1. - С. 114-129
-
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N
Сысоев, С. В., Колонтаева, А. О., Никулина, Л. Д., Косинова, М. Л., Кузнецов, Ф. А., Рахлин, В. И., Лис, А. В., Воронков, М. Г.
Пленки на основе фаз в системе Si-C-N, [Текст], Ч.1, Синтез и характеризация предшественника - бис(триметилсилил)этиламина
ил.
Физика и химия стекла, 2012, Т. 38, № 1. - С. 14-21
