Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана
Поиск

Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана

Авторы: Файнер, Н. И. Голубенко, А. Н. Румянцев, Ю. М. Кеслер, В. Г. Максимовский, Е. А. Аюпов, Б. М. Кузнецов, Ф. А.
Подробная информация
Индекс УДК 547.1`128
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана
Текст
Физика и химия стекла
2013
Т. 39, № 1. - С. 114-129