| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/224146906 |
| Дата корректировки | 21:13:41 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 547.1`128 |
| Файнер, Н. И. | |
|
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 38 назв. |
|
диэлектрические пленки карбонитрид кремния тетраметилдисилазан оптические свойства электрофизические характеристики |
|
|
Голубенко, А. Н. Румянцев, Ю. М. Кеслер, В. Г. Максимовский, Е. А. Аюпов, Б. М. Кузнецов, Ф. А. |
|
|
Физика и химия стекла 2013 Т. 39, № 1. - С. 114-129 |
|
| Тип документа | b |
