Поиск

Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния

Авторы: Файнер, Н. И. Плеханов, А. Г. Румянцев, Ю. М. Максимовский, Е. А. Шаяпов, В. Р.
Подробная информация
Индекс УДК 532.6
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
Текст
Ч.1
Химический и фазовый состав
Другие авторы Плеханов, А. Г.
Физика и химия стекла
2014
Т. 40, № 5. - 749-758