| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/472320191 |
| Дата корректировки | 22:04:31 13 октября 2015 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 532.6 |
| Файнер, Н. И. | |
|
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния Текст Ч.1 Химический и фазовый состав |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 34 назв. |
|
тонкие пленки плазмохимический синтез нанокомпозиционные пленки |
|
| Другие авторы | Плеханов, А. Г. |
|
Румянцев, Ю. М. Максимовский, Е. А. Шаяпов, В. Р. |
|
|
Физика и химия стекла 2014 Т. 40, № 5. - 749-758 |
|
| Тип документа | b |
