| Индекс УДК | 546 |
|
Летучие разнолигандные комплексы меди(II): новые прекурсоры для химического осаждения медных пленок из газовой фазы [Текст] В. В. Крисюк [и др.] |
|
| Аннотация | Два разнолигандных кетоиминат-дикетонатных комплекса меди (II) CuL (hfa) (1), L = пентан-2-имино-4-онато, CH[3]COCHCNHCH[3], и CuL (hfa) (2), L = 2, 2, 6, 6-тетраметил-3- и-миногептан-5-онато, C (CH[3]) [3]COCHCNHC (CH ), исследованы в качестве прекурсоров для осаждения медных пленок из газовой фазы. Методом потока измерены температурные зависимости насыщенного пара этих соединений и рассчитаны термодинамические параметры испарения-сублимации, проведено сравнение их летучести и термического поведения в конденсированной и газовой фазах. Проведено сравнение полученных медных пленок, показано, что при использовании (2) при получении медных пленок в водороде достигаются относительно высокие скорости роста. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 91, вып. 7. - С. 925-932 |
