| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zpch18_to91_vy7_ss925_ad1 |
| Дата корректировки | 10:51:43 30 октября 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181008s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zpch18_to91_vy7_ss925_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546 |
| Индекс ББК | 24.12 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Крисюк, В. В. 070 z01710 |
|
|
Летучие разнолигандные комплексы меди(II): новые прекурсоры для химического осаждения медных пленок из газовой фазы [Текст] В. В. Крисюк [и др.] |
|
| Аннотация | Два разнолигандных кетоиминат-дикетонатных комплекса меди (II) CuL (hfa) (1), L = пентан-2-имино-4-онато, CH[3]COCHCNHCH[3], и CuL (hfa) (2), L = 2, 2, 6, 6-тетраметил-3- и-миногептан-5-онато, C (CH[3]) [3]COCHCNHC (CH ), исследованы в качестве прекурсоров для осаждения медных пленок из газовой фазы. Методом потока измерены температурные зависимости насыщенного пара этих соединений и рассчитаны термодинамические параметры испарения-сублимации, проведено сравнение их летучести и термического поведения в конденсированной и газовой фазах. Проведено сравнение полученных медных пленок, показано, что при использовании (2) при получении медных пленок в водороде достигаются относительно высокие скорости роста. |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
комплексы меди медные пленки прекурсоры скорость роста химическое осаждение |
|
Тургамбаева, А. Е. 070 z02710 Стабников, П. А. 070 z03710 Игуменов, И. К. 070 z04710 Сысоев, С. В. 070 z05710 Румянцев, Ю. М. 070 z06710 Прохорова, С. А. 070 z07710 Максимовский, Е. А. 070 z08710 Маслова, О. В. 070 z09710 |
|
|
Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z01700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z02700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z03700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z04700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z05700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z06700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z07700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z08700 Вторичная ответственность Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН z09700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-4618 |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 91, вып. 7. - С. 925-932 |
|
RU 42013534 20181008 RCR |
|
|
RU 42013534 20181008 |
|
|
RU AR-MARS 20181008 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20181008 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
zpch 2018 91 7 925 1 |
|
| 12807 |
