Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Поиск

Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме

Авторы: Шаяпов, В. Р. Чагин, М. Н. Румянцев, Ю. М.
Подробная информация
Индекс УДК 533.9.082.5+621.793
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Текст
Неорганические материалы
2016
Т. 52, № 6. - С. 684-690