| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/521906472 |
| Дата корректировки | 14:01:12 15 июля 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 533.9.082.5+621.793 |
| Шаяпов, В. Р. | |
|
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 21 назв. |
|
плазмохимическое осаждение тонкие пленки оптическая эмиссионная спектроскопия |
|
|
Чагин, М. Н. Румянцев, Ю. М. |
|
|
Неорганические материалы 2016 Т. 52, № 6. - С. 684-690 |
|
| Тип документа | b |
