Индекс УДК | 666.1.031.16:66-911.38 |
Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена Текст Ч.II Свойства пленок SiC[x]N[y]Fe[z], полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена |
|
Другие авторы | Файнер, Н. И. |
Физика и химия стекла 2016 Т. 42, № 5. - С. 649-657 |