Поиск

Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена

Авторы: Пушкарев, Р. В. Файнер, Н. И. Голубенко, А. Н. Румянцев, Ю. М. Надолинный, В. А. Максимовский, Е. А. Коротаев, Е. В. Каичев, В. В.
Подробная информация
Индекс УДК 666.1.031.16:66-911.38
Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена
Текст
Ч.II
Свойства пленок SiC[x]N[y]Fe[z], полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
Другие авторы Файнер, Н. И.
Физика и химия стекла
2016
Т. 42, № 5. - С. 649-657