Поиск

Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена

Авторы: Пушкарев, Р. В. Файнер, Н. И. Голубенко, А. Н. Румянцев, Ю. М. Надолинный, В. А. Максимовский, Е. А. Коротаев, Е. В. Каичев, В. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/533657268
Дата корректировки 14:07:48 28 ноября 2016 г.
Служба первич. каталог. Боровик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 666.1.031.16:66-911.38
Пушкарев, Р. В.
Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена
Текст
Ч.II
Свойства пленок SiC[x]N[y]Fe[z], полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 17 назв.
термодинамическое моделирование
(диэтиламино)силан
ферроцен
химическое осаждение
нанокомпозитные пленки
Другие авторы Файнер, Н. И.
Голубенко, А. Н.
Румянцев, Ю. М.
Надолинный, В. А.
Максимовский, Е. А.
Коротаев, Е. В.
Каичев, В. В.
Физика и химия стекла
2016
Т. 42, № 5. - С. 649-657
Тип документа b