Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния
Поиск

Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния

Авторы: Файнер, Н. И. Голубенко, А. Н. Румянцев, Ю. М. Кеслер, В. Г. Аюпов, Б. М. Рахлин, В. И. Воронков, М. Г.
Подробная информация
Индекс УДК 546.28
Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния
Текст
Физика и химия стекла
2012
Т. 38, № 1. - С. 22-38