| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/232121199 |
| Дата корректировки | 20:46:52 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28 |
| Файнер, Н. И. | |
|
Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 66 назв. |
|
трис(диэтиламино)силан термодинамическое моделирование карбонитрид кремния оптические свойства диэлектрические свойства |
|
|
Голубенко, А. Н. Румянцев, Ю. М. Кеслер, В. Г. Аюпов, Б. М. Рахлин, В. И. Воронков, М. Г. |
|
|
Физика и химия стекла 2012 Т. 38, № 1. - С. 22-38 |
|
| Тип документа | b |
