-
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии, [[Текст]], В. М. Анищик [и др.]
табл., рис.
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
2017 .-
№ 2. - С. 63-68 .-
-
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки, В. М. Анищик [и др.]
2019 .-
№ 1. - С. 27-31 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si
Беляев, А. Е., Кладько, В. П., Сафрюк-Романенко, Н. В., Любченко, A. И., Слепова, А. С., Пилипенко, В. А., Петлицкая, Т. В., Пилипчук, А. С., Конакова, Р. В. , Саченко, А. В.
Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2019, Т. 53, вып. 4. - С. 485-492
Беляев_особенности
-
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии, В. М. Анищик [и др.]
табл., рис.
2017 .-
№ 2. - С. 63-68 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин
Воробей, Р. И., Гусев, О. К., Жарин, А. Л., Петлицкий, А. Н., Пилипенко, В. А., Турцевич, А. С., Тявловский, А. К., Тявловский, К. Л.
Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин, [Текст]
ил.
Приборы и методы измерений, 2013, № 2. - С. 67-72
-
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления, В. М. Анищик [и др.]
рис.
2018 .-
№ 2. - С. 81-85 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки
Ковальчук, Н. С., Марудо, Ю. А., Омельченко, А. А., Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Демидович, С. А., Колос, В. В., Анищик, В. М., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки, Н. С. Ковальчук [и др.]
2022 .-
2 рис.
-
Формирование силицида никеля быстрой термообработкой в режиме теплового баланса
Пилипенко, В. А., Соловьев, Я. А., Гайдук, П. И.
Формирование силицида никеля быстрой термообработкой в режиме теплового баланса, В. А. Пилипенко, Я. А. Соловьев , П. И. Гайдук
2021 .-
табл., рис.
-
Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Воробей, Р. И., Гусев, О. К., Жарин, А. Л., Петлицкий, А. Н., Пилипенко, В. А., Турцевич, А. С., Тявловский, А. К.
Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин, [Текст]
ил.
Приборы и методы измерений, 2014, № 2. - С. 46-52
-
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика, В. М. Анищик [и др.]
Минск :
БГУ ,
2019 .-
табл.
-
Структурно-фазовые переходы в системе Pt-Si при быстрой термообработке
Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Комаров, Ф. Ф., Горушко, В. А.
Структурно-фазовые переходы в системе Pt-Si при быстрой термообработке, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Солодуха, В. А. Горушко
2020 .-
3 рис.
-
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением
Романов, И. А., Ковальчук, Н. С., Власукова, Л. А., Пархоменко, И. Н., Солодуха, В. А., Пилипенко, В. А., Шестовский, Д. В., Демидович, С. А.
Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением, И. А. Романов [и др.]
2021 .-
рис.
-
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А., Омельченко, А. А.
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки, В. М. Анищик [и др.]
2021 .-
табл.
-
Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии
Пилипенко, В. А., Чижик, С. А., Понарядов, В. В., Петлицкая, Т. В., Кузнецова, Т. А.
Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии, [Текст]
ил.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2012, № 1. - С. 17-20
-
Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний
Пилипенко, В. А., Ковальчук, Н. С., Жигулин, Д. В., Шестовский, Д. В., Анищик, В. М., Понарядов, В. В.
Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний, В. А. Пилипенко [и др.]
2023 .-
-
Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок
Пилипенко, В. А., Ковальчук, Н. С., Жигулин, Д. В., Шестовский, Д. В., Анищик, В. М., Понарядов, В. В.
Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок, В. А. Пилипенко, Н. С. Ковальчук, Д. В. Жигулин [и др.]
2024 .-
3 рис.
-
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем
Чижик, С. А., Басалаев, С. П., Пилипенко, В. А., Худолей, А. Л., Кузнецова, Т. А., Чикунов, В. В., Суслов, А. А.
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем, [Текст]
ил.
Приборы и методы измерений, 2013, № 1. - С. 14-18
