Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Поиск

Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин

Авторы: Воробей, Р. И. Гусев, О. К. Жарин, А. Л. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Турцевич, А. С. Тявловский, А. К.
Подробная информация
Индекс УДК 537.58
Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Текст
Другие авторы Гусев, О. К.
Приборы и методы измерений
2014
№ 2. - С. 46-52