| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/471973767 |
| Дата корректировки | 22:04:11 13 октября 2015 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 537.58 |
| Воробей, Р. И. | |
|
Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
|
неразрушающий контроль зонд Кельвина полупроводниковые пластины дефекты поверхности |
|
| Другие авторы | Гусев, О. К. |
|
Жарин, А. Л. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Турцевич, А. С. Тявловский, А. К. |
|
|
Приборы и методы измерений 2014 № 2. - С. 46-52 |
|
| Тип документа | b |
