Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем
Поиск

Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем

Авторы: Чижик, С. А. Басалаев, С. П. Пилипенко, В. А. Худолей, А. Л. Кузнецова, Т. А. Чикунов, В. В. Суслов, А. А.
Подробная информация
Индекс УДК 53.083.91
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем
Текст
Другие авторы Басалаев, С. П.
Приборы и методы измерений
2013
№ 1. - С. 14-18