| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/425555278 |
| Дата корректировки | 21:17:02 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 53.083.91 |
| Чижик, С. А. | |
|
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 4 назв. |
|
неразрушающий контроль субмикронная топология оптическая микроскопия атомно-силовая микроскопия интегральные микросхемы |
|
| Другие авторы | Басалаев, С. П. |
|
Пилипенко, В. А. Худолей, А. Л. Кузнецова, Т. А. Чикунов, В. В. Суслов, А. А. |
|
|
Приборы и методы измерений 2013 № 1. - С. 14-18 |
|
| Тип документа | b |
