Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Автор
4. Басалаев, С. П.

Статьи. Автор - Басалаев, С. П.

• Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем
  Чижик, С. А., Басалаев, С. П., Пилипенко, В. А., Худолей, А. Л., Кузнецова, Т. А., Чикунов, В. В., Суслов, А. А.
  
  Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем, [Текст] ил. Приборы и методы измерений, 2013, № 1. - С. 14-18