Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si - Статьи - Базы данных - БГТУ

Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si

Авторы: Беляев, А. Е. Кладько, В. П. Сафрюк-Романенко, Н. В. Любченко, A. И. Слепова, А. С. Пилипенко, В. А. Петлицкая, Т. В. Пилипчук, А. С. Конакова, Р. В. Саченко, А. В.

Подробная информация

Индекс УДК	621.315.592
	Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si Электронный ресурс
Аннотация	Измерены экспериментально и описаны теоретически температурные зависимости удельного контактного сопротивления кремния со ступенькой легирования. Измерения проведены в диапазоне температур от 4.2 до 380 K. Установлено, что контакты исследованных структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si являются омическими. Установлено, что в приконтактной области, в слое толщиной порядка микрона, происходит сильное уменьшение объемной концентрации электронов вследствие компенсации кремния глубокими акцепторами, возникающими из-за образования достаточно большой концентрации вакансий при релаксации напряжений и появления большой плотности дислокаций, а также вследствие их диффузии от контакта после прогрева до 450°C. Данные о существовании дефектов вакансионного типа подтверждены рентгеновскими измерениями. Из рентгеновских измерений оценена также плотность дислокаций в исследованных структурах.
Ключевые слова	удельное контактное сопротивление
	Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 4. - С. 485-492
Имя макрообъекта	Беляев_особенности