| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/695829972 |
| Дата корректировки | 14:16:20 18 января 2022 г. |
| 10.21883/FTP.2019.04.47445.9012 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Беляев, А. Е. | |
|
Особенности температурной зависимости удельного контактного сопротивления диффузионных кремниевых структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 28 назв. |
| Аннотация | Измерены экспериментально и описаны теоретически температурные зависимости удельного контактного сопротивления кремния со ступенькой легирования. Измерения проведены в диапазоне температур от 4.2 до 380 K. Установлено, что контакты исследованных структур Au-Ti-Pd-n{+}-n-Si являются омическими. Установлено, что в приконтактной области, в слое толщиной порядка микрона, происходит сильное уменьшение объемной концентрации электронов вследствие компенсации кремния глубокими акцепторами, возникающими из-за образования достаточно большой концентрации вакансий при релаксации напряжений и появления большой плотности дислокаций, а также вследствие их диффузии от контакта после прогрева до 450°C. Данные о существовании дефектов вакансионного типа подтверждены рентгеновскими измерениями. Из рентгеновских измерений оценена также плотность дислокаций в исследованных структурах. |
| Ключевые слова | удельное контактное сопротивление |
|
омические контакты температурная зависимость кремниевые структуры |
|
|
Болтовец, Н. С. Кладько, В. П. Сафрюк-Романенко, Н. В. Любченко, A. И. Шеремет, В. М. Шинкаренко, В. В. Слепова, А. С. Пилипенко, В. А. Петлицкая, Т. В. Пилипчук, А. С. Конакова, Р. В. Саченко, А. В. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 4. - С. 485-492 |
|
| Имя макрообъекта | Беляев_особенности |
| Тип документа | b |
